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上海集成电路研发中心有限公司(ICRD)成立于2002年,是国家支持组建、产学研合作的集成电路研发中心。ICRD由中国集成电路相关企业集团和高校联合投资组建而成,是一个独立的面向全行业集成电路企业、大学及研究所开放的公共研发机构。

洁净室常用的FFU风机过滤机组是一种自带动力的送风及过滤功效的模块化装置,英文全称为:Fan Filter Unit,风机过滤机组从顶部将空气吸和并经HEPA过滤。洁斐然FFU机组广泛应用于无尘室,无尘操作台,无尘生产线,组装式无尘室和局部百级洁净室等应用场合。

  • 上海集成电路中心ICRD百级洁净室建设。
    上海集成电路中心ICRD百级洁净室建设。
  • 洁斐然FFU模块机组采用不锈钢材质,整洁密封。
    洁斐然FFU模块机组采用不锈钢材质,整洁密封。
  • FFU散流板。
    FFU散流板。
  • CFCP高性能无隔板过滤器滤材选用抗水型玻璃纤维滤纸,95褶/英尺,比常规产品增加了20%的面积,阻力更低使用寿命更长。外框采用铝合金/不锈钢/ABS等材质,双面护网,整体紧凑轻薄,具有大风量、大容尘量、过滤精度高等优点,可定制非标尺寸,适合不同的机型使用。CFCP广泛用于光学电子、半导体、液晶制造,精密仪器等无尘洁净室/车间的空调末端送风口。

  • FFU风机过滤机组是一种自带动力的模块化空气净化送风装置(Fan Filter Unit),洁斐然FFU风机过滤机组常设置于洁净棚/区/台顶部,以正压形式把空气送往HEPA过滤,过滤后的洁净空气约以0.45m/s的速度均匀送出。洁斐然FFU风机过滤机组的机体采用SUS304不锈钢板或喷塑处理的镀锌钢板制成,耐腐蚀、易清洁,经模块化设计后的机体结构紧凑、轻巧坚固、占用空间少,且可阵列安装。广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线和局部百级洁净棚/区等应用场合。

  • 在生产环节中,对区域空间洁净度有更高需求的工序制程可采用微环境洁净棚,如半导体微电子车间流水线作业区、特种设备区(工序制程释放灰颗粒或气体物质)、检验检测区等,把核心工序控制在洁净区域内,保障产品良品率;洁浄棚配备新风系统,从顶部CFCP高性能无隔板过滤器送风;洁净棚也适用于实验室、食品加工、精细化工、精密机械等领域。