​空气过滤器在半导体行业的应用。

发布日期:2021-08-05 浏览次数:105

常常听说我们这个产品(空气过滤设备)在半导体行业应用广泛,具体用在哪些方面,在这里我们一一介绍一下。由于粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路,甚至起火,所以,在集成电路行业,是需要相较高质量的无尘车间,因为,粉尘会直接影响半导体行业的成品合格率。


当今,半导体工业(尤其是芯片厂)对生产环节的空气洁净程度有非常高的要求,对空气过滤器的过滤要求也相当苛刻,衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”,即电路上导线的宽度,在以微米计算线宽的年代,半导体工厂在制造环节对粉尘粒径的限制是需要小于线宽的1/10,随着线宽不断变小,要求在不断的提高,其实最终会落脚在各个工艺的综合较量上。


早在2002年,普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm,此时任何粉尘都可能损害电路,粒径与线宽的传统比较已经过时了。芯片厂传统的通风形式是“大循环”,车间的整个天花板上布满高效空气过滤器,整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置,即FFU


大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度,只是在运行管理和能耗上有所差异。不论是普通高效过滤器,还是FFU,出厂前都要经过逐台扫描测试。国内目前没有扫描测试方法标准,能挤进芯片厂的过滤器厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。芯片厂的人认为,过滤器传统检验方法用的试验粉尘本身就是污染源,所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。 空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌,但空气中海盐粉尘的颗粒比较大,普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸,可沿海地区经济发达,芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,在过滤器上多花点钱就是了。 20世纪90年代初,国外曾对高效过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵,随后,过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年,国外出现了聚四氟乙烯纤维高效过滤材料,这种材料没有挥发物,但它是带静电的“驻极体”,少了个隐患,多了个麻烦,过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离子。目前这种材料的价格偏高,大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸,过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘结剂和清洗剂,为芯片厂供货的空气过滤器厂商要在这上面下些功夫。当今的空气过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零的状态,那就是,你想要多干净的洁净室,都能达到要求。


化学过滤器:

当芯片上的线宽小到0.5mm时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂,它就是活性炭过滤器,但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车,芯片厂的化学过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。


化学污染物的来源可能是:室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点:吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓吸附就是对什么都能多少吸附些,能有这种功能的就是普通、便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类,就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定化学过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的专家,并与名气大的化学实验室有密切的关系。遗憾的是,国内过滤器厂商没有几家在那上面下功夫,所以国内芯片厂目前使用的化学过滤器多数是进口产品。半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”,它也有环境问题。那里经常采用新的工艺和材料,有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经大量使用了,稍不小心就会造成严重的化学污染,既有地下水污染,也有空气污染,硅谷就曾为此付出过惊人的代价。为了保险,有些企业在排风系统中也使用化学过滤器。


中国正处在新一轮芯片厂建设的狂热中,为此,今后几年国内需要数亿元的高效过滤器和化学过滤器,以配套半导体行业的发展,这是一个挑战,也是一个契机。


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