光刻机的空气过滤器选型

光刻机是制造集成电路和半导体芯片的关键设备之一，其精度和稳定性对于芯片的性能和可靠性具有决定性的影响。在光刻机使用时，黄光区是一个空气管控的重要区域，空气洁净度通常要达到ISO Class4（十级）以上。

洁斐然在光刻机上方建有洁净棚，采用微正压形式进行局部空气管控，空气经过化学过滤器、U17空气过滤器，从出风口处送至光刻区，适配风速在设计范围之内。可以有效地过滤无尘洁净室内空气中的尘埃和其他污染物，从而确保进入光刻机的空气纯净度。为了确保空气过滤器的可靠性，根据GB/T 13554-2020高效空气过滤器标准要求，U17过滤器在出厂前将会进行严格的逐台测试检验，以保证过滤器品质。在安装后，现场使用粒子计数器在U17过滤器下游进行扫描测漏，进行建后验证。

HEPA、ULPA过滤器通常是空气过滤器的主要执行者，此外还值得注意的是，化学过滤器的使用对于光刻机的性能和寿命同样具有重要影响，肩负着去除空气中酸、碱污染物的重任，确保光刻机设备以及产品的使用寿命和产品品质。

除了在光刻机中的应用外，U17超高效空气过滤器还在精密制造、医药、食品等其他领域发挥着重要作用。这些洁斐然空气过滤器具有高效率、低能耗、精致、耐用的特点。

黄光区的空气过滤器适配选型，还需要参考无尘车间的洁净度，不同的环境工况有不同的适配方式，更多的技术需求，请拨打洁斐然技术热线：4006707505.

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